Tropel®µ猫™
卓越的设计，性能和灵活性
康宁的Tropel®µCAT™系列反射式长工作距离微物镜专为深紫外波长使用而设计。µCAT优越的设计特性超越了Schwarzschild的目标。在考虑使用全镜像系统之前，请仔细查看TropelµCAT。
好处
µCAT设计结合了反射和折射元件，从而产生具有高数值孔径，长工作距离和低遮挡的微物镜。高分辨率和有利的光收集，工作距离可以与薄膜一起工作，µCAT的特点结合了性能和灵活性，具有成本效益的解决方案。
µCAT物镜中选用的所有材料均为超低放气，可最大限度地减少污染源。
关于产品
降低成本
降低成本
µCAT设计可以提供足够的带宽以适应基于灯的系统，从而消除了对昂贵的激光源的需求，并降低了系统的总体成本。
µCAT设计可以提供足够的带宽以适应基于灯的系统，从而消除了对昂贵的激光源的需求，并降低了系统的总体成本。
少遮挡提高性能
少遮挡提高性能
透镜内的中心遮挡对中频调制传递函数(MTF)(即图像对比度)有直接影响。µCAT的设计减少了遮挡量，并提高了中频MTF。µCAT设计中的中心遮挡量可低至15%，而典型的史瓦西物镜的中心遮挡量大于35%。
µCAT设计的另一个特点是使用了“浮动”副镜，从而消除了机械支柱或“蜘蛛”，这些支柱或“蜘蛛”在其他微物镜中出现时，会阻碍一些光线通过系统。
透镜内的中心遮挡对中频调制传递函数(MTF)(即图像对比度)有直接影响。µCAT的设计减少了遮挡量，并提高了中频MTF。µCAT设计中的中心遮挡量可低至15%，而典型的史瓦西物镜的中心遮挡量大于35%。
µCAT设计的另一个特点是使用了“浮动”副镜，从而消除了机械支柱或“蜘蛛”，这些支柱或“蜘蛛”在其他微物镜中出现时，会阻碍一些光线通过系统。
高性能应用
高性能应用
由于设计中包含了低遮挡，µCAT可用于具有部分相干照明条件的检测应用，或用于检查线和晶圆上的图像。µCAT物镜目前用于OEM应用，包括掩模和晶圆检测和写入。
由于设计中包含了低遮挡，µCAT可用于具有部分相干照明条件的检测应用，或用于检查线和晶圆上的图像。µCAT物镜目前用于OEM应用，包括掩模和晶圆检测和写入。